ポストI{sub}(DDQ)テスト手法としてのI{sub}(DD)スペクトル法の応用の検討

摘要

Post I{sub}(DDQ)テスト手法として,I{sub}(DD)スペクトル法の適用可能性するために,他のPost I{sub}(DDQ)テスト手法と故障検出精度,テスト時間の観点から比較検討したリーク電流のため，従来のI{sub}(DDQ)テストが適用できない実デバイスを用いた評価実験を行い、故障検出精度において他手法と同等あるいはより優れていることを示した。 さらにテスト時間においても他手法と同等,ある日まより短い時間でテストできることを示したこれらの故障検出精度,テスト時間の観点から，I{sub}(DD)スペクトル法は,量産テストにおけるPost I{sub}(DDQ)手法として最も有力であることを示した.