強誘電体メモリ（FeRAM）の長期データ保持特性テスト法

摘要

強誘電体メモリ（FeRAM）を実用化する際の大きな課題の一つに，データ不揮発性の保証の問題がある．本論文では，我々が開発したデータ不揮発性保証（実質的には10年程度のデータ保持保証）を行うたあのFeRAM評価手法について記述する．同手法は，メモリセルから読み出されるアナログ値電圧（ビット線読出し電圧）をベースとする．まず，FeRAM内の個々のメモリセルからのビット線読出し電圧を測定できる測定系について説明する．次に，10日～1か月程度のデータ保持後に前記測定系を用いて得られたビット線読出し電圧値を使うと，1～10年後の当該FeRAMデータ保持特性がよく予測できるという実験結果を示す．保証方法の有効性を示すデータ保持予測精度について，実測すべき最長の保持時間と予測先の保持時間との関係を明らかにした．最後に，その結果を用いたFeRAMの長時間データ保持特性テスト法について提案する．