エレクトロスプレーを用いたナノ粒子薄膜作製とデバイス応用

摘要

ナノ粒子は体積に対する表面積の割合が同体積のバルクと比較して非常に大きく、微粒子を使用してセンサデバイスを作製することで、その性能を向上させることが期待される。本研究では基板に対し室温大気圧で微粒子を高密度に堆積し、微粒子薄膜を作製するためにエレクトロスプレー法を用いた。プロセスの改善を行いZnOナノ粒子膜の製膜をした。作製したサンプルは大気圧でのI-V特性、光特性と真空下でのI-V特性、光特性、また雰囲気ガス中でのI-V特性からガスセンサへの応用可能性を明らかにした。