グラフェン,グラフェンナノリボンのガスセンサーを含む電子デバイスへの応用

摘要

グラフェン，およびその幅を数ナノメータ程度まで細くしたグラフェンナノリボン（GNR）は，その優れた，あるいは奇妙な特性から，将来の電子デバイスの材料として期待されており，センサーなどのIoTデバイスへの応用も有力である．本講演では，シリコントランジスターのゲート部分をグラフェンで置き換えた構造を持つ新規ガスセンサーを紹介する．このガスセンサーは，NO_2に対して高い感度を持ち，1ppb以下のNO_2を検出可能である．さらに，トップダウン的に形成した8nm幅グラフェン配線とその電気特性について説明するほか，新たに取り組んでいるボトムアップ的手法によるGNR形成について紹介する．