1kV以下の球電極ESDに伴う電磁波放射に関する一考察

摘要

充電された物体との衝突や接触によって静電気放電（ESD：electrostatic discharge）が発生し，広い周波数帯域にわたる急峻な過渡電圧変動が生じる．これらの過渡電圧波は系内を伝搬し，電気·電子素子の直接的な破損や回路の誤動作を誘発し，システムの致命傷ともなり得る．一方，近年の電気電子システム内部では情報伝達信号のディジタル化，低レベル化が進み，システムの高性能化，低電力化を実現している反面で，外来電磁雑音，特にESDなどのインパルス性の雑音波による影響を受けやすい傾向にあり，環境電磁工学（EMC：electromagnetic compatibility）上の重要な問題となっている［1］．ESDによって発生する電磁雑音の影響については種々の検討がなされ，現象の究明が進められつつある．例えば，インパルス性の電磁雑音波が電子計算機に致命的な障害を与える懸念について早くから報告され，ESDに伴う電磁障害の危険性が指摘されている［2］-［4］．また，ESDによって発生する電磁雑音特性の解明に向け，発生電磁界の定量化および特異性について多角的に究明が進められている［5］，［6］．さらに，ESDによる電磁雑音特性を究明する上で，時間領域による測定の重要性に着目し，時間領域測定手法の提案がなされている［7］，［8］．また，これら現象究明の取り組みと並行して，数kVオーダにおける静電気放電によって発生する放射電磁波の実測と解析を行った事例なども報告されている［9］，［10］．