マイクロマシン技術を用いたセンサデバイスの開発と適用事例

摘要

本稿ではマイクロマシン技術，特にMEMS技術を使ったセンサの開発と適用事例を紹介する．MEMS技術を使ったセンサとして実用化が最も進んでいるのは圧力センサ，加速度センサであるが，最近，熱式の流量センサが超小型，高分解能，高速応答といった特長を生かして実用化例を拡大している．一方，従来シリコンをベースとしたセンサ弱点を克服するサファイアをベースとしたセンサも開発されており，これまでシリコンベースのセンサは使用できなかった分野への適用も試みられている．