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机译:Siプローブを用いたμ-Pseudo-MOS法によるSOI薄膜層評価の基礎検討
山本泰己; 永瀬雅夫; 大村泰久Yasuki YamamotoMasao NagaseYasuhisa OMURA;
薄膜; プローブ; Pseudo-MOS法; Silicon-on-Insulator (SOI); MOSFET; Thin film; Probe; Pseudo-MOS method;
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