光ディスクメモリ用リソグラフィー技術の現状

摘要

光ディスクの原盤にピットを形成する技術を概説した．光ディスクの原盤記録では，レーザを高NAレンズで絞り，レジストが塗布された回転する原盤に対して記録レンズを半径方向に移動させら旋状にピットを記録していく．スポットの焦点深度が±0.1 μm程度しかないため，ガラス盤の上下動に追従するフォーカスサーボが必要になる．露光部の光量分布とレジストの感度特性に対応した断面形状のピットが現像後に得られる．DVDの場合最短ピット長は0.4 μm，トラックピッチは0.74 μmである．次世代の高密度光ディスクのために，より小さなピットを形成するための技術開発も始まっており，それらの動向も紹介した．