フレキシブルデバイス応用を目指したセルフスイッチング型ナノダイオードの整流特性

摘要

酸化物半導体のデバイス応用として，セルフスイッチング型ナノダイオード（Self Switching nano-Diode；SSD）に着目した．SSDは高速で動作する新機能ナノデバイスとして注目されており，高周波動作やフレキシブル基板上にSSDを作製した報告もあり，将来，安価なRFIDタグに応用できるデバイスとして有望と考えられている．我々はワイドギャップ半導体である酸化亜鉛（ZnO）をガラス基板上に成膜し，電子ビーム露光とウェットエッチングを用いた室温プロセスによってZnO-SSDを作製した．さまざまな寸法を持つSSDについて，それらの整流特性を評価した．さらにフレキシブルなSSDの開発を目的として，プラスチックであるポリエチレンナフタレート（PEN）基板上にもZnO-SSDを作製し，曲げ耐性を調べたのでその結果についても報告する．