高精度XYステージの開発

摘要

半導体デバイス，液晶パネル等の高性能化に伴い，XYステージに対する精度要求高速化要求は年々高まっている。 当社では，この要求に答えるべくエアニガイド，リニアモータによるダイレクトドライブ機構によるH型構造のステージを基本コンセプトとした各種ステージを開発している。 ここでは，このH型ステージを構成する基本技術，要素技術並びに周辺技術を中心に紹介し，更に現在注目されている高速Z機構を概説する。