FDTD法による二次元任意形状回折格子解析

摘要

本論文では，2方向に無限周期をもつ任意形状二次元回折格子の近傍界から遠方界に変換する式を導出した．SiO_2表面にアイランド型構造を施した回折格子をモデルとして，FDTD法を用いて解析した．回折格子モデルに対して入射彼を三次元的に変化させ，反射回折効率，透過回折効率を求めた．