浮遊電極付CPWを用いたマイクロ波高速液晶デバイス

摘要

コプレナ一線路（CPW）に浮遊電極（FE）を配した伝送線路を開発し，これを用いたマイクロ波帯液晶装荷可変移相器の立ち下がり時間の高速化を提案する．提案のCPW－FEを用いることにより，立ち上がり時間と立ち下がり時間の両方を印加バイアス電界で制御を可能にすることにより，立ち下がり時間の高速化を図っている．開発した18GHz帯の可変移相器においてCPWの中心導体幅50μm，中心導体と接地導体との間隙20μmで液晶層厚500μmの場合に立ち上がり時間75ms，立ち下がり時間200msが得られた．また，そのときの液晶の誘電眞方性△ξ' は0．23が得られている．