厚いAlグレーティング構造を有するラブ波/レイリー波型SAW共振器

摘要

ニオブ酸リチウム圧電基板上の厚いAlグレーティング構造を伝搬するラブ波型SAWは，極めて容量比γ（＝3.0）の小さい共振特性を示すが，レイリー波と複雑に弾性結合する．共振器に適用した場合，レイリー波はスプリアスとなるため，十分に抑圧する必要がある．VCO用広帯域SAW共振器の開発を目的に，このラブ波/レイリー波の伝搬/反射特性を解析した．その結果，①ラブ波/レイリー波ともに，極めて広い反射帯域を有する，②2種類のレイリー波スプリアスが共振特性に出現する，③ラブ波よりレイリー波のストップバンドの方が反射特性に優れることを，シミュレーションと実験により明らかにした．また，Al膜厚を最適化し，レイリー波のストップバンド内をVCO発振周波数とすることにより，広帯域SAW-VCOが実現できることを実験により示した．