半導体#12539;FPD（フラットパネルディスプレイ）#12539;新素材の検査/製造装置特集によせて

摘要

社会環境·市場環境が変化し，今後さらに大きな転換期を迎えようとしている現在，半導体·FPD（フラットパネルディスプレイ）·新素材分野においても多くの解決すべき課題がある。 半導体においてはアプリケーションの多様化によって，微細化性能の向上，高機能化が求められており，設計技術，デバイスの微細加工技術の進歩が不可欠で，新材料や新構造を導入した新しいデバイスの開発が重要になっている。 このため新材料の物性評価や複雑化するデバイス構造の検査等に新たな製造·検査装置が求められている。また，FPDにおいてもパネルの大画面化や，プロセス基板の大型化が進められる一方で，小型パネルについても多機能化が進められている。