Quantitative description of the growth kinetics and morphology of TiN thin films produced by a physical vapour deposition method

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• 来源
  《Journal of Materials Science Letters》 |2004年第4期|317-319|共页
• 作者

  K.Rożniatowski; A.Michalski; K.J.Kurzydlowski;

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• 作者单位

  Warsaw University of Technology;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 英语
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