UVキュアラブル液晶性高分子膜の電気的評価と有機TFTへの応用

摘要

有機TFTの特性向上を目指し、UVキュアラブル液晶を絶縁膜として用いたMIM素子を試作した。本素子では、素子作製手順の一つである、硬化条件である露光量を変化させるじことによるUVキュアラブル液晶の電気的特性の比較を行った。その結果、露光量が高い程絶縁膜としての条件が適していることが判ったのでそれを報告する。