塗布型有機半導体を用いた高移動度有機TFTアレーの作製

摘要

柔軟な構造を有し低温プロセスで作製可能な有機薄膜トランジスター(TFT: Thin Film Transistor)は，将来の超柔軟なフレキシブルディスプレーの駆動素子として有望である。今回，塗布型半導体を用いた高移動度のTFTアレーの作製?評価を行った。ポリマーゲート絕緣膜の表面塗れ性を局所的に制御することで，半導体溶液の自己組織的なパターニング形成を行った。更に，少量の液滴から結晶性の高い有機半導体膜を形成する塗布プロセスを組み合わせることで，チャネル長5μmの微細なTFTアレーにおいて移動度1.3cm~2/Vsを得た。