レイアウト情報を反映するテスト品質評価·向上手法－基本的手法と適用例（ブリッジ故障対応Iddqテスト、重み付き縮退故障検出率）

摘要

システムLSIの大規模化、プロセスの微細化に伴い、従来の縮退故障モデルでは十分対応できない不良が増加しつつあり、主要な解の一つとしてレイアウト情報の活用が注目され、特に故障診断分野において故障絞込み精度向上等への適用が進んでいるが、テスト品質向上·テスト作成（追加）効率化についても大きな効果が期待される。今回、レイアウト情報活用の第1ステップとして比較的実現容易で実用的効果も大きいと見られるブリッジ故障対応Iddqテストと重み付きpin縮退故障検出率を導入し、実製品データにて評価した。レイアウト要素の重みを考慮することにより、従来より高いテスト品質が効率的に得られることを確認した。