石英ウェーハのプラズマ活性化低温接合

摘要

酸素RIEプラズマ処理と窒素ラジカル処理からなるSequential processによる表面活性化常温接合法をガラスウェーハの接合に適用した結果，常温·低負荷での接合を行うことができた．また，接合では窒素プラズマ処理時のガス圧力によって接合強度にばらつきが発生することを確認した．封止構造体の接合では良好な気密封止特性を確認した．