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Ellipsometrie

机译:Ellipsometrie

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摘要

AbstractDie Ellipsometrie, das heißt die Messung der Dicke von dünnen Filmen, ist in den letzten Jahren zunehmend zu Korrosionsuntersuchungen eingesetzt worden. Deu Verfasser beschreibt die Grundlagen der Methode sowie den Aufbau der Meßeinrichtungen und gibt Beispiele für die Anwendung auf dem Korrosionsgebiet, besonders in Zusammenhang mit der Bildung von Passivschichten. Es wird gezeigt, daß die optischen Eigenschaften derartiger dünner Filme sowohl von der Art der Filme als auch von den Entstehungsbedingungen stark abhängen. Bisher ist es jedoch noch nicht gelungen, die änderungen der optischen Filmeigenschaften quantitativ in Abhängigkeit von der Zusammensetzung des Films und damit der Zusammensetzung des einwirkenden Mediums zu deuten. Eine Rolle spielt hierbei auch die Tatsache, daß die bei Korrosion entstehenden Deckschichten Dielektrika sind und daß Gitterfehler das elektromagnetische Verhalten stark beeinflussen. Eine Erweiterung der Methode bildet die Chronoellipsometrie, bei welcher die bei einer elektrochemischen Reaktion auftretenden Veränderungen elektrischer und optischer Eigenschaften gleichzeitig geme

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