凹面ミラーを用いた512×512ポート3D-MEMS光スイッチモジュール

摘要

光入出力端子数512ポートの3D-MEMS光スイッチモジュールを試作し原理確認を行った．本モジュールは光入出力端子数128ポートのコリメータアレイ，およびMEMSミラーアレイをそれぞれ2行×2列に配置することでアレイ規模を512ポートに拡大する．本モジュールの光学系は入出力MEMSミラーアレイ間に凹面ミラーを配して光路をW型に折り返す構成であり，入力側MEMSミラーから凹面ミラーに進行する光の角度を出力側MEMSミラーアレイ上の位置情報に変換することによりMEMSミラーの回転動作範囲をアレイ全領域で等しくし，規模拡大に伴うMEMSミラー最大回転角度の増加を緩和する．試作モジュールについてMEMSミラーアレイ全領域で光パス接続が可能であることを確認し，本構成の有効性を示した．