指紋センサLSI

摘要

近年，情報端末の不正使用を防止するためにバイオメトリクスを利用した認証システムが注目されている．我々は，バイオメトリクスとして指紋に着目し，半導体式容量型指紋センサLSIを開発してきた．本論文では，容量型指紋センサLSIのセンサ構造及びセンサプロセスについて説明し，静電気対策，機械的強度，長期信頼性などの信頼性評価方法とその結果について述べる．また，本指紋センサLSIの特徴であるキャリブレーション機能について説明する．キャリブレーションは，ピクセルごとに内蔵した可変容量を各ピクセルの出力信号が同一になるように調節することで実現し，センサ表面状態の影響を除外でき，長期間の使用においても常にきれいな画像が取得可能である．