LSIオンチップ光配線技術

摘要

LSIのオンチップでの光配線技術は,将来のLSIにおける電気配線での課題を解決可能な技術として期待されるものである.光素子のオンチップ化に向けては,素子の小型化と低コストな実現方法が大きな課題である.シリコンフォトニクスの技術を活用し,これらの課題解決に向けた施策を,MIRAIプロジェクトにおいて遂行しつつある.ここでは,オンチップ光配線の概念と,代表的な素子技術としての受光素子,光導波路,光変調器等のオンチップ向け開発について紹介する.