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机译:超高精細FED用微小電子源の電子光学特性
藤野高弘; 小池昭史; 長尾昌善吉田知也西孝村田英一酒井健太郎根尾陽一郎青木徹三村秀典;
静岡大学電子工学研究所;
産業技術総合研究所;
名城大学理工学部;
マイクロカラム; マルチビーム; FED; くびれ電極;
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