マイクロ波小型加熱炉を用いた半導体発振器方式による一様加熱制御の検証実験

摘要

半導体発振器は，マグネトロンに代表される電子管に比べ，空間内における位相制御による電力合成が可能である．本稿では，位相制御技術をマイクロ波小形加熱炉に応用し，加熱炉内における一次元の一様な温度分布制御の実現性を検証したので報告する．