キャビティリングダウン分光法を用いた高感度?高精度な微量水分計測

摘要

水の惑星と呼ばれる地球に住む我々にとって，水は最も 身近な物質の一つであり，生命活動を維持する上でなくて はならない極めて重要な物質である.その一方で，高純度 ガスや高真空を必要とする製造プロセスや科学実験におい ては，不純物としてよく問題にされる物質でもある.例え ば，半導体製造分野では，材料ガスとして用いられる高純 度ガス中に，物質量分率（モル分率）でわずか1 μmol/ mol(1 ppm)以下の水分が残留していただけでも，デバ イスの性能や歩留まりに悪影響を及ぼすことが知られている~(1)).このような分野では，微量レベルでの水分管理が必 須であり，それを確実に実行するには，ガス中微量水分の高精度な測定が不可欠となる.