分極反転PZT/PTO薄膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子

摘要

移動体通信機器の周波数フィルタ数增加を抑えるために，周波数チューナブルやスイッチナブルといった機能を持つフィルタが検討されている.分極反転構造の強誘電体薄膜は，電圧印加により共振モードを可逆的に切り替えることができ，スイッチナブルフィルタとして有望である.本研究では，抗電界の異なるPZTとPbTiO_3の2層構造共振子をスパッタ法により作製し，中間電極を用いない簡単な構造での周波数スイッチングを試みた.PZT屠とPbTiO_3層の抗電界の中間の電界を共振子に印加し，抗電界の低いPZT層のみの分極方向を反転することにより，基本モード共振(0.56 GHz)と2次モード共振(1.58 GHz)の可逆的なスイッチングに成功した.