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机译:厳密結合波理論を用いた多層膜回折格子の偏波無依存設計およびその試作
塩崎学; 茂原政一; Manabu SHIOZAKIMasakazu SHIGEHARA;
厳密結合波理論; 多層膜; 回折格子; サブ波長周期; 偏波無依存; RCWA; Multi-layer; Diffraction Grating; First-order; Polarization Independent;
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