導波路内ミラーを利用した微小曲げ導波路の設計と試作

摘要

光導波路デバイスの小型化は、高速のフォトニックネットワークを構築する上で重要である。 そこで、導波路内に金属のミラーを利用し、微小領域で光を曲げる光導波路デバイスを捏案する。石英導波路で作製したV字型微小曲げ導波路のサイズは、0.25mm × 1.1m程度である。 微小曲げ導波路の伝搬損失は、平均4.75dBであり、その主な原因はミラー面の傾きによる損失であった。 最近の試作では、ミラー面の傾きを低減させる事で、伝搬損失を1.94dB程度まで小さくする事に成功した。 本論文では、導波路内ミラーを使用した微小曲げ導波路の設計法、最新の試作素子の特性について述べる。 更なる小型化を実現するため2枚の楕円ミラーを使用した曲げ導波路も提案する。