水晶振動子微量天秤·リッジ型光導波路複合センサを用いた湿度検出

摘要

我々はこれまで、このような構造のセンサについて基礎的な動作を確認するため、異なる形状の導波路への光入射について検討すると共に、主に湿度応答を判定してきている。以前の報告では、QCM上のスラブ型導波路に塩化コバルト（CoCl_2）を分散したポリビニルアルコール（PVA）を湿度感応膜として堆積した素子を作製し、プリズムカブラ法によってHe-Neレーザ光を導波させた他、リッジ型の導波路に白色光を導波させる実験も試みている。本報告では、主にQCM上のリッジ型光導波路に対してバットカップリング法および光ファイバのpigtail接続で光入出力した複合素子について、実験結果を述べる。pigtail接続により導波路に光ファイバを直接固定することで、測定が容易になると共に再現性の向上が期待できる。