ガラス/水/128度回転Y板X伝搬LiNbO_3構造における弾性表面波の伝搬特性

摘要

医療·バイオ分野では，前処理·計測·排出を一つの基板上で行えるデバイスが求められている·弾性表面波（SAW）を用いると，液滴を搬送·混合することが出来る．この液滴搬送面にセンサを集積化することにより計測も可能となる．搬送の際，液体成分が基板表面に付着するため，“使い捨て”が必要となる．基板である圧電結晶を使い捨てとしないため，“ガラス/水/128YX-LiNbO_3”の3層構造が提案されている．安価なガラス表面で液滴搬送·混合·計測を行え，かつガラスのみを交換することで使い捨て可能なデバイスを実現できることは実験的に確認されている．しかし，3層構造を伝わる弾性波の詳細については検討されていない．そこで，本稿では，数値解析と実験により3層構造を伝わる波の伝搬特性について検討した．その結果，ガラス中を4000m/sの高次ラム波が伝搬していることがわかった．