陽電子消滅法を用いたポーラスLow-k膜の空孔連結性と吸湿特性の相関

摘要

陽電子消滅法(PALS)を用いてポーラスLow-k膜中の吸湿量におけるポアサイズおよびポア連結性依存性を評価した。ポアサイズとポア連結性の減少によりポーラス膜はPCT試験等のような高温多湿環境においても極めて強い吸湿耐性を示すことがわかった。 ポア連結性の低減（クローズドポア化）は45nm以降の高信頼性ポーラス材料を開発する上で極めて有効である。