SISPAD2015レビュー

摘要

2015 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices（SISPAD 2015）が2015年9月9日から11日にかけて、ワシントンD．C．で開催された。本稿では当会議で報告された論文の中から、招待講演、パワーデバイス、熱モデリング、信頼性、TCADの新しい応用、シリコンデバイス、FinFETs、メモリデバイス、コンパクトモデルの各分野に絞って、注目を集めた論文について、その概要を紹介する。