球面半導体技術

摘要

五つのボール半導体プロセス技術と二つのボール半導体デバイス技術を中心として，ボール半導体技術の概略を紹介させて頂いた．本技術は開発が始まってから3年を経過したにすぎず，すべての技術が確立したとはとてもいえないが，ようやく一通りの技術が出そろい，応用製品が見えてきたものと考えている．