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机译:MOD法によるBST薄膜を用いた20GHz帯チューナブル移相器とその360度デジタルPHEMTIC移相器への応用
大阪大学大学院基礎工学研究科;
三菱電機株式会社高周波素子開発部;
Graduate School of Engineering Science, Osaka Univ. 1-3 Machikaneyama-cho, Toyonaka, Osaka, 560-8531 JapanMitsubishi Electric Corporation, Semiconductor Group 4-1 Mizuhara, Itami, Hyogo, 565-0456 Japan;
強誘電体薄膜; 移相器; MMIC移相器; チューナブル回路デバイス; Ferroelectric films; Phase shifters; MMIC phase shifters; Tunable circuits and devices;