Mosquito法によるGI型円形コアポリマー並列光導波路のチャネル間ピッチ制御

摘要

近年のHigh Performance Computer（HPC）のさらなる高性能化への要求に対応するべく，高速·高密度信号伝送を可能とする光インターコネクト技術の導入が検討されている．特に，オンボードレベルの光インターコネクトに対しては，マルチモードポリマー光導波路を組み込んだ光配線板の応用が期待されている．ポリマー光導波路の作製法として，我々はディスペンサを用いたMosquito法を考案し，屈折率分布（GI）型円形コアを有するポリマー並列光導波路の作製に成功している．Mosquito法では，硬化反応前のクラッドモノマー皮膜中に，ディスペンサに繋がれたシリンジのニードル先端を挿入し，このニードルを水平方向に走査しながら粘性の高いコアモノマーを吐出することで，円形コアを形成する．この際，ニードルの外形，ニードル挿入位置精度や，ニードル走査に伴うクラッドモノマーの流動が，並列コアの形状やピッチに多大な影響を及ぼすことが懸念される．本研究では，挟ピッチを有する円形GIコアポリマー並列光導波路の作製を行い，得られた導波路に対し，11.3 Gbps X12チャネルの並列信号伝送実験に成功した結果を報告する．