セミベクトル波動伝搬法に基づく多層誘電体導波路の伝搬特性

摘要

Silicon基板上に2種類の屈折率の異なった誘電体からなる多層3次元導波路を解析するためのセベクトル放物型方程式に基づく数値計算プログラムを開発し、その伝搬特使と電磁界分布を計算した。 　 特に漏れ構造の一種であるARROW構造導波路を詳細に解析し、PE法の妥当性と計算精度につい検討している。