半導体用特殊ガスの最新動向 - 日本酸素-先端プロセスへ向けたガス技術開発

摘要

本号の特集企画である半導体製造の周辺技術に関連して，半導体ガスの最大手である日本酸素の梅川明彦氏と柴田巌氏に，半導体用特殊ガスの最新動向について語つていただいた。 (なお，煩雑を避けるため，文中両氏のお名前は省略させていただいた。 ）