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机译:ガスフロースパッタ法による高い光触媒活性を有するTiO{sub}2膜の高速堆積
石井清; 黒川和成; 吉原佐知雄Kiyoshi ISHIIKazunari KUROKAWASachio YOSIHARA;
酸化チタン薄膜; 光触媒; 光触媒薄膜; スパッタTiO{sub}2薄膜; ガスフロースパツタ法; 反応性ガスフロースパッタ法; Titanium dioxide film; Photocatalytic film; Sputtered TiO{sub}2 film; Gas flow sputtering; Reactive gas flow sputtering;
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