AlGaNナノリングによるバイオセンシング動作

摘要

外径がおよそ1.4μm、リング幅がおよそ300nm、厚さがおよそ150nmのAlGaNナノリング微小光共振器をエッチングの手法により作製した。エッチング手法としては、電子線描画と反応性イオンエッチングを用いたトップダウンエッチング及びH_2雰囲気熱エッチングを用いたアンダーカットにより作製した。このAlGaNナノリングはウイスパリングギャラリーモードによって光励起レーザー発振した。また、AlGaNナノリングを異なる屈折率の有機溶媒で室温フォトルミネッセンスを評価したところ、このAlGaNナノリングの共振波長が周囲の屈折率の増加に伴い長波長シフトした。これは、AlGaNナノリングがバイオセンサとして機能する可能性を示している。