イオンフローヘッドの高信頼性化

摘要

イオンフロープリンタのイオン源として用いられる固体放電方式の帯電器（以下，固体放電素子と記述）は，高いイオン生成能力を有している一方で，電蝕などにより劣化することから，その素子寿命の短さが問題とされている．本論文では，イオン発生電極を厚膜ガラスで被覆することにより，イオンの衝突が原因と考えられる電蝕を低減して，固体放電素子の長寿命化を試みた．その際，長寿命化のため形成する保護膜の膜厚とイオン生成能力の関係を電界分布の数値計算から予測し，保護膜形成によるイオン供給能力の低下を許容値に抑え得る膜厚の推定に適用したので，その結果について報告する．