X線光電子分光法（XPS）

摘要

本報告では，X線光電子分光法（XPS）の原理，スペクトルの意味，定量化に関して解説した。 また，最近の進歩の例として，走査型X線源，C_（60）イオン銃による低損傷スパッタリングの例を挙げた。より詳細な検討#12539;考察については，最後に挙げた文献を参照していただきたい。