Al系材料を用いた100V耐圧横形ショットキーバリアダイオードの検討

摘要

電源用ICや各種駆動用ICなどのパワーICでは出力特性の低消費電力化の目的から、高速·低損失ダイオードの搭載が要求されている。 今回、これらのパワーICに搭載可能な高速·低損失横形ダイオードの検討として、バリア金属に純AlとAl-Si-Cuを用い、コンタクトホールの形成方法を変化させた数種の100V耐圧横形ショットキーバリアダイオードを実験的に試作·評価した。逆回復特性はダイオード甲形成条件に依らずPiNダイオードに比して良好な特性が得られた。 しかし、形成条件差は静特性に顕著に現れた。 逆方向特性はコンタクトホールの形成条件に強く依存し、またAl-Si-Cuを用いたダイオードは温度特性が不安定になった。