MOVPE法による各種基板上へのInN膜の成長及び評価

摘要

各MOVPE法を用いて、各種基板上にInNを成長させた。 X線回折によるInNのモザイク性の評価によれば、特にねじれ成分であるツイスト分布と基板との格子不整合度に強い相関が見られた。