共鳴トンネル素子を用いた極短パルス生成器とそのAlNセラミック基板上アンテナとの集積化

摘要

共鳴トンネル素子を用いたシンプルなパルス生成器をInP基板上に試作した．出力を100GHz帯域のオシロスコープにより観測し，10ps以下の全半値幅を得た．さらに，これをAlNセラミック基板上に作製した広帯域アンテナと集積し，その特性を調べた．