複合振動を用いた強力超音波応用について

摘要

現在、超音波技術は半導体、自動車産業をはじめ多岐に亘る広い分野で使用され、益々発展しつつある。 我々は強力超音波応用の自由度を大きくし新しい応用分野が実現可能になるように、各種の大容量の振動源、駆動用の大出力の電力増幅器の開発を行い、種々の新しい応用の研究開発を行ってきている。 しかしながら従来の比較的低周波数の振動、特に一次元の直線振動では限界があったが、高周波数振動および2·3次元の複合振動を用いることが有効で、従来不可能であった接合や加工が可能になることが明らかになってきている。種々の超音波応用、超音波応用の周波数特性、複数の振動系の同時使用、複合振動の有用性および複合振動変換器、多数の振動子を集積した大容量の複合振動源の構成等について述べる。