デジタルレーザ顕微鏡の計測データの処理プログラム開発の試み

摘要

電気接点表面の転移·消耗形状の数値計測に使用しているレーザ顕微鏡のデータ処理には、現状では専用のデータ処理ソフトウェアが必要であり、作業性や汎用性の点で問題がある。 また、このソフトウェアにおけるサンプル形状の体積計測機誌では、その計算アルゴリズム上の理由により、傾斜面や湾曲面の上に形成された形状の体積を正確に計測できない。 そこで今回、C＃言語を使用して、レーザ顕微鏡の計測データに対する独自のデータ処理プログラムの開発に着手した。 これまでのところ、計測データに基づくサンプル形状の3次元イメージや断面形状の表示が可能になり、さらに傾斜面上の形状を含めた体積計測機能を実現した。 ここでは、それらの概要と実際の処理結果、並びに今後の開発課題をご紹介する。