フレキシブルスタンパ法で作製したポリマフィルム導波路

摘要

ハイエンドルータ·サーバや携帯電話応用等、データ伝送にフレキシブル光配線を用いた光インタコネクションの研究が活発に行われている。 光配線にはポリマフィルム導波路の適用が想定され、量産化と低コスト化の観点から、転写による簡易な導波路作製法が注目されている。 本研究では簡易な導波路作製法としてフレキシブルスタンパ法を新たに提案し、ポリマフィルム導波路作製法としての適合性を検討した。 その結果、作製したフィルム導波路の伝搬損失は波長850nmで0.06dB/cmと小さく、本法が導波路作製法として適当なことを明らかにした。 本フィルム導波路の光配線板応用をねらって、多芯MTコネクタ実装についても検討した。 その結果、MTコネクタを実装した12chフィルム導波路の挿入損失は1.5～1.9dBと小さく、光配線板応用の基本特性を有することを明らかにした。また、本法で作製した96chのフィルム導波路は、挿入損失ばらつきが±0.2dBと小さく、本法が超多ch導波路作製法としても有効であることを明らかにした。