ZnO成膜試験装置

摘要

プラズマコーティングシステム（Plasma Coating System PCS）は，高密度プラズマによる反応性プラズマ蒸着（Reactive Plasma Deposition RPD）法を実現する当社独自の装置である。 今回，RPD法を適用したZnO成膜試験装置を紹介する。 RPD法は，蒸発源の直上に高密度プラズマを集束させることで蒸発材料を昇華させ，かつイオン化させることで反応性を高めたプラズマ蒸着法であり，従来の蒸着法やスパッタ法およびCVD法とは異なる成膜方法である。