1,500 V以下のESDに伴う過渡電圧の立上り時間及び周波数スペクトルに関する実験的検討

摘要

電磁雑音源として危惧されるESD（静電気放電）及び開閉器動作等に伴うギャップ放電の過渡電圧立上り部分について，その電圧立上り時間特性と周波数スペクトルについて観測を行った．測定のための実験系は，放電に伴って発生する過渡電圧変動が非常に急しゅんであることを考慮して分布定数系で構成し，特に放電電極部分の挿入損失を周波数帯域約4.5 GHzまで吟味した．実験の結果，放電電圧1,500 V以下における過渡電圧の立上り時間は約100～600 psオーダと非常に急しゅんであることがわかった．更に，立上り時間特性は，電極先端部分の曲率半径，電源電圧及び電源極性により変化することが確認された．また，電圧立上り部分の周波数スペクトルは，5 GHzにせまる非常に高い周波数領域のスペクトル成分を含んでいることがわかった．更に，スペクトル分布の上限周波数は，放電電圧及び電源極性，更には電極形状により変化することを確認した．